СЕРИЯ HA — 3-е поколение комбинированной установки для нанесения PVD покрытий
Ключевая технология: HiPIMS & DCMS + Arc
Ключевая технология: HiPIMS & DCMS + Arc
Время цикла (AlCrTiXN) | 6~8 ч |
Кол-во режущих пластин за одну садку (1135) | 6000 |
Кол-во концевого инстр. за одну садку ( 4 50 мм) | 1800 |
Эффективная зона покрытия | Ø410-420 мм |
Габариты (Д*Ш*В) | 3750*1650*2700 мм |
Параметры установки HA500
Наименование | Параметры |
Технология нанесения покрытий | Hi PIMS/ DCMS/ Arc |
Травление | Ионное травление |
Количество дуговых источников | 6 |
Магнетронный источник | 1 |
Количество колонн карусели | 5 |
Количество пластин за садку (1135) | 6000 |
Количествово концевого инструмента за садку (∅ 4×50 мм) | 1800 |
Габариты установки | 3750×1650×2700 мм |
Объем камеры | 0.7 м3 |
Зона эффективного нанесения покрытий (мм) | ∅ 410×420 мм |
Диаметр колонны | ∅ 130 мм |
Время нанесения покрытия | 6 ~ 8 ч |
Документы